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2021
05-062021
05-062021
04-252021
04-25壓電掃描平臺在激光直寫系統(tǒng)中的應(yīng)用|光刻
激光直寫是利用強度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實施變劑量曝光,顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓,激光直寫系統(tǒng)的基本工作原理是由計算機控制高精度激光束掃描,在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計的任...2021
04-252021
04-202021
04-192021
04-192021
04-102021
04-102021
04-06快速激光束偏轉(zhuǎn)及掃描解決方案|壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)!
激光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導(dǎo)體加工、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用,同時對其性能要求也越來越高,受其體積、掃描頻率、掃描精度、掃描分辨率等諸多因素的制約,傳統(tǒng)的掃描方式越來越難...2021
04-062021
04-06壓電納米掃描系統(tǒng)在干涉測量系統(tǒng)中的應(yīng)用!
壓電納米掃描系統(tǒng)是由精密壓電納米定位臺與壓電控制器組成,系統(tǒng)可完成單軸或多軸的納米精度的運動控制。下圖中為芯明天的一款小體積型Z向壓電納米掃描系統(tǒng)。干涉測量干涉測量是基于電磁波的干涉理論,通過檢測相干...2021
03-292021
03-292021
03-18壓電陶瓷驅(qū)動電源的系統(tǒng)電路設(shè)計
壓電陶瓷驅(qū)動器(PZT)是微位移平臺的核心,其主要原理是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生形變,從而驅(qū)動執(zhí)行元件發(fā)生微位移。壓電陶瓷驅(qū)動器具有分辨率高、響應(yīng)頻率快、推力大和體積小等優(yōu)點,在航天、機器人、微機...2021
03-132021
03-132021
03-122021
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