等離子體清洗的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。

1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。

2、不會對人員的身體造成任何傷害。

3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

2L腔體等離子清洗機(jī)KT-S2DQX

供電電源	AC220V（AC110V可選)
工作電流	整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率	150W
射頻頻率	13.56MHz
頻率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50歐姆，手動(dòng)匹配
耦合方式	電容耦合
真空度	≤100Pa
腔體材質(zhì)	高純石英
腔體容積	2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
觀察窗內(nèi)徑	Φ65
氣體流量	10—100ml/min（其他量程可選）
過程控制	過程手動(dòng)控制
清洗時(shí)間	手動(dòng)開關(guān)
開蓋方式	鉸鏈側(cè)開式法蘭
外形尺寸	400x380x360mm
重量	23Kg
真空室溫度	小于65°C
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
標(biāo)配	KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說明書一本。

關(guān)鍵詞：真空泵電源線觸摸屏清洗機(jī) 過程控制

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