一英寸高低溫真空探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面，臺面可升溫到-190~400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后。

詳細(xì)介紹

一英寸高低溫真空探針臺：

一：產(chǎn)品參數(shù)

1．產(chǎn)品名稱：微型真空探針熱臺

2．產(chǎn)品型號：KT-0904T-RL

3．產(chǎn)品品牌：鄭科探 Zhengketan

4．生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

二：功能要求

探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面，臺面可升溫到-190~400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm,y方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測

一英寸高低溫真空探針臺：主要技術(shù)要求

1．類型：高低溫型：-190~400℃

2．腔體材質(zhì)：304不銹鋼

3．腔體內(nèi)尺寸：φ90x40mm

4．腔體上視窗尺寸：Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

5．腔體抽氣口：KF16

6．腔體進(jìn)氣口：公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

7．腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

8．腔體正壓：≤0.05MPa

9．腔體真空度：機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

10．樣品臺材質(zhì)：304不銹鋼

11．樣品臺尺寸：26X26mm

12．樣品臺-視窗距離：30mm（可選凹視窗間距15mm）

13．樣品臺測溫傳感器：PT100鉑電阻

14．樣品臺溫度：室溫到-190~350℃（可選高溫樣品臺高溫400℃）

15．樣品臺測溫誤差：±0.2℃

16．樣品臺變溫速率：高溫10℃/min 低溫5℃/min

17．溫度顯示：7寸人機(jī)界面

18．溫控類型：標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）

19．溫度分辨率：0.1℃

20．溫控精度：±0.5℃

21．溫度信號輸入類型：PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）

22．溫控輸出：直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）

23．輔助功能：溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線

24．電信號接頭：配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米

25．電學(xué)性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA

26．探針數(shù)量：4探針（可定做6探針）

27．探針材質(zhì)：鍍金鎢針

28．探針尖：10μm

29． X軸移動(dòng)行程：12mm ±6mm

30． X軸控制精度：≤5μm

31． Y軸移動(dòng)行程：12mm ±6mm

32． Y軸控制精度：≤5μm

33． Z軸移動(dòng)行程：12mm ±6mm

34． Z軸控制精度：≤5μm

35．顯微鏡類別：物鏡放大+電子放大

36．顯微鏡放大倍數(shù)：100倍

37．顯微鏡工作間距：50-150mm

38．相機(jī)分辨率：1080P 60幀

39．相機(jī)信號輸出：HDMI輸出+USB輸出

40． LED可調(diào)光源：LED光源

41．顯示屏：5寸屏幕一體機(jī)

四：主要配置要求

1．1臺 · KT-0904T-RL微型探針臺一臺

2．1臺 · 觸摸屏溫控箱

3. 1個(gè)· 6mm聚四氟管

4. 1根電源線

5: 2個(gè) 6mm金屬內(nèi)襯

6： 1根觸摸屏筆

7： 4個(gè) SMA-香蕉插頭

8： 1根功率輸出線

9: 6米 6mm水冷管

10： 1套 K型上蓋扳手、備用螺絲，內(nèi)六角

選配: 分子泵真空機(jī)組機(jī)械泵電子顯微鏡

關(guān)鍵詞：顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)

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一英寸高低溫真空探針臺

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