微型掌上真空探針臺：KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個探針臺系統(tǒng)中獨立出來，可以應(yīng)用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數(shù)據(jù)更加準確。

詳細介紹

微型掌上真空探針臺 具有多種優(yōu)勢，使其在氣敏材料的研發(fā)和測試中非常有用。以下是一些主要的優(yōu)勢：

1. **多功能性**：集成了電學(xué)測試、加熱、氣體管理和蒸發(fā)功能，為氣敏材料的全面測試提供了便利?？梢酝瑫r進行材料的電學(xué)性能測試和氣敏性能測試。

2. **精確控制**：樣品臺加熱功能允許精確控制樣品溫度，這對于研究溫度對氣敏材料性能的影響非常重要。

3. **可變氣氛環(huán)境**：腔體內(nèi)有單獨的蒸發(fā)坩堝，可以蒸發(fā)不同的有機溶液（如乙醇、甲醇、甲苯），從而創(chuàng)造多種氣氛環(huán)境以測試材料在不同氣體條件下的性能。

4. **真空系統(tǒng)**：通過進出氣口和抽真空接口，可以控制腔體內(nèi)的氣壓，進行高精度的測試。這對于研究在不同壓力下材料的氣敏性能非常有幫助。

5. **集成探針系統(tǒng)**：六探針電學(xué)測試系統(tǒng)可以提供高精確度的電學(xué)測量，適用于復(fù)雜電性能的分析。

6. **靈活性和適用性**：能夠測試多種材料和不同種類的氣體，使其成為研究多種應(yīng)用和材料的理想工具。

7. **實時監(jiān)測**：壓力測量口可以實時監(jiān)測腔體內(nèi)的壓力，使實驗數(shù)據(jù)更為可靠。

整體而言，這樣的設(shè)備設(shè)計適合于需要進行復(fù)雜、可控的多參數(shù)測試的氣敏材料研究和開發(fā)。

微型掌上真空探針臺 KT-Z4019M4T-RL

真空腔體
類型	高溫型室溫到400℃	高低溫型室溫到400℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標準PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）