愛拓利 MFC300覆蓋七大高精尖領(lǐng)域:①半導(dǎo)體微電子:CVD/ALD/PVD 鍍膜、刻蝕、摻雜、清洗工藝,特種氣體精確配比。②實(shí)驗(yàn)室分析:氣相色譜、質(zhì)譜、原子吸收載氣控制,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠。③化工催化:催化劑評價、固定床反應(yīng)器、氣體配比、空速精確控制。④新能源:燃料電池、鋰電池注氣 / 保護(hù)氣、制氫設(shè)備、CO?捕集。⑤醫(yī)療設(shè)備:混合配氣(O?/ 空氣 / 麻醉劑),安全穩(wěn)定。⑥環(huán)保監(jiān)測:廢氣在線分析、煙氣處理、VOCs 檢測、空燃比調(diào)節(jié)。⑦真空鍍膜:光伏、光學(xué)、玻璃鍍膜,工藝氣體精準(zhǔn)供給。全量程、多氣體、多通訊適配,滿足微流量 - 小流量全場景。
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