愛(ài)拓利MFC350質(zhì)量流量控制器針對(duì)工業(yè)過(guò)程測(cè)量中因工藝流體污染導(dǎo)致的傳感管線堵塞及結(jié)晶問(wèn)題，提供基于毛細(xì)管熱式傳感技術(shù)的沖洗流量控制解決方案。該產(chǎn)品通過(guò)高精度閉環(huán)控制確保雙傳感管線流速一致以抵消壓降影響，具備±0.35%F.S.測(cè)量精度、0-1MPa工作壓差范圍及寬量程適應(yīng)性，已應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工及生物制藥等行業(yè)的精密氣體測(cè)控場(chǎng)景。

在工業(yè)過(guò)程測(cè)量中，工藝流體污染可能導(dǎo)致傳感管線堵塞，或流體在管線內(nèi)結(jié)晶、結(jié)塊，這些問(wèn)題會(huì)嚴(yán)重影響差壓測(cè)量的準(zhǔn)確性。通常采用引入沖洗流體，順著傳感管線將其導(dǎo)回工藝流中，以消除停滯液體這一常見(jiàn)堵塞源，沖洗介質(zhì)可選用惰性氣體、液體或少量實(shí)際工藝液體。

但引入沖洗流量會(huì)帶來(lái)新問(wèn)題：流量導(dǎo)致傳感管線產(chǎn)生壓降，且工藝壓力的變化會(huì)引起沖洗流量波動(dòng)，造成不可靠的差壓測(cè)量，進(jìn)而影響主工藝流量測(cè)量的準(zhǔn)確性。為提高測(cè)量精度，需確保兩條傳感管線中的流速相等——在管線長(zhǎng)度相同的前提下，相等流速產(chǎn)生相同的壓降，使差壓測(cè)量?jī)蓚?cè)產(chǎn)生相等的偏移并相互抵消。

愛(ài)拓利MFC350質(zhì)量流量控制器基于毛細(xì)管熱式傳感技術(shù)，主要技術(shù)指標(biāo)如下：

高精度流量控制：MFC350的測(cè)量精度可達(dá)±0.35%F.S.（低流量段）或±1.0%S.P.（高流量段），重復(fù)精度±0.2%F.S.，控制響應(yīng)時(shí)間小于1秒，確保對(duì)沖洗流量的精準(zhǔn)設(shè)定與快速調(diào)節(jié)。

抗壓波動(dòng)能力強(qiáng)：工作壓差范圍0-1MPa，耐壓3MPa，壓力系數(shù)僅0.2% of S.P./Bar，即使工藝壓力發(fā)生波動(dòng)，控制器仍能維持預(yù)設(shè)流量穩(wěn)定，避免因流量變化導(dǎo)致測(cè)量誤差。

寬量程與介質(zhì)適應(yīng)性：量程覆蓋0-2 sccm至200 slpm，內(nèi)置90余種氣體流量系數(shù)，密封材質(zhì)可選FKM或FFKM，適用于多種沖洗介質(zhì)場(chǎng)景。

典型應(yīng)用方案：將MFC350安裝于沖洗氣源與傳感管線之間，設(shè)定兩條傳感管線流量相等，入口處通過(guò)壓力調(diào)節(jié)器保持穩(wěn)定供應(yīng)壓力。MFC350的閉環(huán)控制功能可在下游工藝壓力變化時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)閥門開(kāi)度，維持恒定沖洗流量，確保差壓測(cè)量?jī)蓚?cè)壓降一致，從而保障主工藝流量測(cè)量的準(zhǔn)確性。該方案已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、生物制藥等行業(yè)的精密氣體測(cè)控場(chǎng)景。