公司自主研發(fā)的核心器件全自研全國產(chǎn)化的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFC330/MFC350 系列產(chǎn) 品）已經(jīng)量產(chǎn)并通過市場驗(yàn)證。核心部件毛細(xì)管熱式傳感器、高精度電磁比例閥自主 研制、核心生產(chǎn)設(shè)備及治具檢具亦自主研制。本項(xiàng)目專注于的層流差壓式氣體質(zhì)量流 量控制器（MFC）的研發(fā)、國產(chǎn)化量產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)，聚焦半導(dǎo)體、光伏、顯示面板、 真空鍍膜、分析儀器、生物醫(yī)藥、精細(xì)化工等制造領(lǐng)域。針對國內(nèi)MFC 長期被海 外品牌壟斷、供貨周期長、價格高昂、售后滯后、卡脖子風(fēng)險突出等行業(yè)痛點(diǎn)，團(tuán)隊(duì)依托 自主流體控制算法、自產(chǎn)高精度流量傳感器及控制比例閥、低漂移溫控補(bǔ)償技術(shù)，打造高 精度、高穩(wěn)定性、長壽命、高性價比的國產(chǎn)化 MFC 系列產(chǎn)品。

氣體種類： 90+種氣體可選 

測量范圍： 0.5%F.S. – 1 00% F.S. (1:200) 

控制范圍;： 1%F.S. – 1 00% F.S. (1:100) 

準(zhǔn)確度： 0.5% F.S. 

工作壓差： 0-1 MPa 

耐壓： 3 MPa 

控制響應(yīng)時間 <1 s 

閥門類型: 常閉閥 

預(yù)熱時間： 5 min（T95) 

量程范圍： 0-2 sccm…200slpm 

顯示屏： 內(nèi)置/外接顯示屏可選 

標(biāo)況: 20℃（可設(shè)置）， 1atm 

通訊方式： 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat