三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一種典型的機(jī)電一體化設(shè)備，由機(jī)械系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。

（1）機(jī)械系統(tǒng)：一般由三個(gè)正交線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)軸組成。在圖9-1所示的結(jié)構(gòu)中，X導(dǎo)軌系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上，移動(dòng)橋梁為Y導(dǎo)軌系統(tǒng)，Z導(dǎo)軌系統(tǒng)安裝在滑動(dòng)架上。三個(gè)方向軸都配備了光柵尺來(lái)測(cè)量每個(gè)軸的位移值。手動(dòng)驅(qū)動(dòng)的手輪和移動(dòng)。數(shù)控驅(qū)動(dòng)電機(jī)通?？拷總€(gè)軸。用于觸摸被檢測(cè)部件表面的測(cè)量頭安裝在Z軸端部。

（2）電子系統(tǒng)：一般由光柵計(jì)數(shù)系統(tǒng)、測(cè)頭信號(hào)接口、計(jì)算機(jī)等組成，用于獲取被測(cè)坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)，并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。

坐標(biāo)測(cè)量?jī)x工作原理

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一種基于坐標(biāo)測(cè)量的通用數(shù)字測(cè)量設(shè)備。首先，坐標(biāo)測(cè)量?jī)x將測(cè)量幾何元素的測(cè)量轉(zhuǎn)換為測(cè)量這些幾何元素上的某些點(diǎn)集坐標(biāo)位置。測(cè)量這些點(diǎn)的坐標(biāo)位置后，根據(jù)這些點(diǎn)的空間坐標(biāo)值，通過(guò)數(shù)學(xué)操作找出尺寸和形狀誤差。如圖9-2所示，為了測(cè)量工件上圓柱孔的直徑，可以在垂直于孔軸線(xiàn)的截面I中觸摸內(nèi)孔壁上的三個(gè)點(diǎn)（點(diǎn)1.2.3），孔的直徑和圓心坐標(biāo)OI可以根據(jù)這三點(diǎn)的坐標(biāo)值計(jì)算；如果在截面中觸摸更多的點(diǎn)（點(diǎn)1、2..、n、n為測(cè)點(diǎn)數(shù)），則可以根據(jù)最小二乘法或最小條件法計(jì)算截面圓的圓度誤差；如果測(cè)量多個(gè)垂直于孔軸線(xiàn)的截面圓（I、II、m、m為測(cè)量的截面圓數(shù)），則孔的圓柱度誤差和各截面圓的圓心坐標(biāo)可以根據(jù)測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo)值計(jì)算，然后孔軸的位置可以根據(jù)每個(gè)圓的中心坐標(biāo)值計(jì)算；如果在孔端面A上觸摸三點(diǎn)，則可以計(jì)算孔軸對(duì)端面的位置誤差?？梢钥闯?，CMM的工作原理使其具有很大的通用性和靈活性。原則上，任何工件的任何參數(shù)。