圖像測(cè)量?jī)x器的特性；

成像測(cè)量?jī)x器，根據(jù)捕獲工件表面成像的邊沿，開(kāi)展成像處理，得到成像幾何元素的數(shù)據(jù)信息。成像特征點(diǎn)在測(cè)頭坐標(biāo)系中的坐標(biāo)(x、y’)與探針與探針與探針在坐標(biāo)測(cè)量?jī)x基本坐標(biāo)系中的坐標(biāo)(x"、y"合成，組成被測(cè)坐標(biāo)(x、y)。做為光學(xué)成像探針，成像光路品質(zhì)、成像設(shè)備的品質(zhì)、照明燈具的抗壓強(qiáng)度、照明燈具的均勻性、被測(cè)物的色調(diào)和和、質(zhì)地、閾值的尺寸、塵土的危害等，都會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果導(dǎo)致危害。

成像光路質(zhì)量是指受光學(xué)鏡頭和鏡頭安裝系統(tǒng)影響的成像質(zhì)量。這些影響通常會(huì)導(dǎo)致枕部變形或桶形變形、梯形變形、成像銳度下降（彗年）等問(wèn)題。

計(jì)量特性及影像測(cè)量?jī)x的評(píng)定方法：

中國(guó)計(jì)量研究院參照德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)起草的《光學(xué)探頭坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》，根據(jù)成像測(cè)量?jī)x器的工作原理和成像探頭的誤差特點(diǎn)，對(duì)成像探頭規(guī)定了多點(diǎn)測(cè)量、成像歧變和光學(xué)影響的誤差。

影像測(cè)量?jī)x與接觸坐標(biāo)測(cè)量?jī)x一樣，也需對(duì)長(zhǎng)度測(cè)量示值誤差進(jìn)行評(píng)定。

所謂多點(diǎn)測(cè)量的檢測(cè)誤差與接觸探頭坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)誤差相近：通過(guò)多次局部采樣，獲取標(biāo)準(zhǔn)圓的信息，并結(jié)合計(jì)算圓的參數(shù)，反映圖像系統(tǒng)采樣的各向異性和吸引人的誤差，以及通過(guò)多次局部采樣的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的運(yùn)動(dòng)誤差。

實(shí)際標(biāo)定流程說(shuō)明。

一：探測(cè)誤差多點(diǎn)測(cè)量。

在水平工作臺(tái)上放置標(biāo)準(zhǔn)圖形板，并使用輪廓照明。鏡頭選擇的放大倍數(shù)，以確保圓的參數(shù)只能通過(guò)多個(gè)局部圓?。ㄒ?guī)定15個(gè)局部圓?。┻M(jìn)行測(cè)量和計(jì)算。測(cè)量結(jié)果通過(guò)自動(dòng)捕捉邊緣點(diǎn)來(lái)獲得，并測(cè)量圓的形狀誤差值10次。

2：探測(cè)誤差的成像歧變。

在水平工作臺(tái)上放置標(biāo)準(zhǔn)的圖形板，采用輪廓照明。選擇、最小、中間放大的鏡頭，選擇合適的標(biāo)準(zhǔn)圓，使圓的圖像占到視野的2/9。以單軸坐標(biāo)變化的值作為測(cè)量結(jié)果，測(cè)量9個(gè)位置的圓的中心坐標(biāo)。

3：探測(cè)誤差影響照明。

影像測(cè)量?jī)x在水平工作臺(tái)上放置標(biāo)準(zhǔn)圖形板，采用輪廓照明。選擇、最小、中間放大倍數(shù)合適的標(biāo)準(zhǔn)圓，使圓的成像占視野的2/3，用“整體提取圓"提取圓的邊緣，計(jì)算圓的直徑。

四、校準(zhǔn)二維長(zhǎng)度測(cè)量示值誤差。

用玻璃刻線尺在水平軸向和對(duì)角線方向各測(cè)量2個(gè)位置，然后由用戶任意指定一個(gè)位置，共計(jì)7個(gè)位置校準(zhǔn)測(cè)量。每個(gè)位置測(cè)量5個(gè)長(zhǎng)度，每個(gè)長(zhǎng)度測(cè)量3次，記錄測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值，得到105個(gè)顯示值誤差值。

5：顯示誤差Z軸長(zhǎng)度測(cè)量。

測(cè)量Z方向量塊的高度值與名義值進(jìn)行比較，確定儀器的Z軸長(zhǎng)度測(cè)量示值誤差，使用量塊豎立在工作臺(tái)上，利用表面光照，采用自動(dòng)聚焦的方式瞄準(zhǔn)工作臺(tái)和量塊上表面。