我們可以從幾個(gè)方面來區(qū)分這兩種儀器，但無論如何區(qū)分它們，我們?nèi)匀豢梢酝瑫r(shí)檢測(cè)相同的工件，但不同圖像測(cè)量儀的精度會(huì)比工具顯微鏡更高，因?yàn)樗蕾囉诟呖萍键c(diǎn)坐標(biāo)數(shù)據(jù)處理原理，而工具顯微鏡只是在傳統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)方法中。這也是他們之間的區(qū)別之一。如果從原理上看，我們更容易理解工具顯微鏡的原理，而圖像儀的原理更復(fù)雜，這也是基于光學(xué)成像的測(cè)量對(duì)象，而影像測(cè)量儀增加了一層圖像處理技術(shù)。該技術(shù)采用當(dāng)前高科技圖像集點(diǎn)運(yùn)算規(guī)則，更準(zhǔn)確、清晰地表達(dá)各種幾何元素的位置關(guān)系。工具顯微鏡的精度和清晰度更依賴于手動(dòng)操作和偶然的外部條件誤差。

這兩種光學(xué)儀器在結(jié)構(gòu)上是不同的。影像測(cè)量儀通常由基座和幾個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)組成PC計(jì)算機(jī)組裝，工具顯微鏡顯得有點(diǎn)簡(jiǎn)單，操作員只需要熟練的技能就可以通過視覺讀取被測(cè)工件的大小，除了成像儀，還知道如何使用操作軟件的一些幾何檢測(cè)位置關(guān)系到軟件索取或新建，這是相對(duì)專業(yè)的。