影像測量儀的測量是單軸、二維平面和三維空間坐標(biāo)的測量。在測量過程中，首先對焦點(diǎn)進(jìn)行最終計(jì)算和處理。對焦對準(zhǔn)依賴于光學(xué)系統(tǒng)，讀數(shù)來自尺度，即光柵系統(tǒng)，還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源，因?yàn)槿绻粶y部件不能用有效和正確的照明圖像方法測量儀器，測量結(jié)果顯然應(yīng)偏離其真實(shí)尺寸。除上述因素外，制約測量精度的因素還包括環(huán)境條件。在上述分析中，可以總結(jié)出以下誤差來源：

1)光柵計(jì)數(shù)尺誤差；

2)直線度，工作臺移動時角度的誤差；

3)工作臺兩個測量軸垂直度引起的誤差；

4)工作臺面與顯微鏡光軸不垂直造成誤差；

5)測量室溫度偏離校準(zhǔn)要求的參考溫度的誤差；

6)光源照明條件變化引起的對焦誤差。

在這些因素中，前四個誤差在影像測量儀制造過程中已經(jīng)形成并固定，一般不能改變，是硬件誤差。溫度影響引起的誤差必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減少。在實(shí)際測量中，個往往被忽略，被測工件的圖像質(zhì)量和照明效果直接受到光源照明條件變化的影響，主要是因?yàn)閳D像測量儀的圖像具有自動調(diào)節(jié)增益的功能CCD接收，但當(dāng)亮度過大時，會失去調(diào)節(jié)功能，導(dǎo)致被測工件圖像縮小，當(dāng)亮度過低時，工件圖像變大。因此，只要照明條件在整個測量過程中保持不變，其影響就可以忽略，因?yàn)槊總€重復(fù)的圖形結(jié)構(gòu)同時變大或變小，間距測量計(jì)算直接消除圖像變形的影響；除此之外，如測量工件的長度、圓的直徑和寬度，都會帶來明顯的誤差。