TONiC?光柵系列

什么是TONiC？

TONiC是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng)，速度可達(dá)10 m/s，與Ti接口配套使用時(shí)，在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差大，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡(jiǎn)單。TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤差超低，通常小于±30 nm，從而有助于實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動(dòng)控制性能。

TONiC UHV將增量式光柵技術(shù)引入低至10-10 Torr的超高真空應(yīng)用中，這類應(yīng)用要求在緊湊的外形中保持高性能。

柵尺選項(xiàng)

直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對(duì)旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制。

鍍金鋼帶

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺較大長(zhǎng)度

讀數(shù)頭兼容性

RGSZ/RGSN

RGSZ20-S柵尺

±15 μm/m

20 μm

使用端壓塊固定到基體，保持與基體相同的熱膨脹

如需超過50 m的長(zhǎng)度，請(qǐng)聯(lián)系雷尼紹

TONiC、TONiC UHV

帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺較大長(zhǎng)度

讀數(shù)頭兼容性

搭配可選FASTRACK?的RTLC20

RTLC20 FASTRACK柵尺

±5 μm/m

20 μm

~10.6 μm/m/°C

10 m

TONiC、TONiC UHV

ZeroMet?直線硬柵尺

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺較大長(zhǎng)度

讀數(shù)頭兼容性

RELM/RELE

RELM RSLM柵尺

1 m內(nèi)為±1 μm，以后±1 μm/m

20 μm

0.75 ±0.35 μm/m/°C

1.5 m

TONiC、TONiC UHV

不銹鋼直線硬柵尺

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺較大長(zhǎng)度

讀數(shù)頭兼容性

RSLM/RSLE/RSLC

RELM RSLM柵尺

1 m內(nèi)為±1.5 μm，2 m內(nèi)為±2.25 μm，3 m內(nèi)為±3 μm，5 m內(nèi)為±4 μm

20 μm

~10.8 μm/m/°C

5 m

TONiC、TONiC UHV

不銹鋼圓光柵

柵尺名稱

刻劃精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

RESM/REST/RESD

RESM-REST圓光柵（柵尺頁(yè)面）

±3.97至±0.38角秒

20 μm

17 μm/m/°C

52至550 mm

TONiC、TONiC UHV

超高精度不銹鋼圓光柵

柵尺名稱

安裝精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

REXM/REXT

REXM圓光柵（柵尺頁(yè)面）

（≥100 mm直徑）±1角秒
（75 mm直徑）±1.5角秒
（≤57 mm直徑）±2角秒

20 μm

17 μm/m/°C

52至417 mm

TONiC、TONiC UHV

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