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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地青島市
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更新時(shí)間:2026-08-24 12:24:35瀏覽次數(shù):112次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)VIONiC讀數(shù)頭可兼容各種直線柵尺和圓光柵,從低膨脹ZeroMet到高精度REXM圓光柵,無(wú)一例外。它因此成為一種通用型產(chǎn)品,適合各種對(duì)測(cè)量精度要求嚴(yán)格的應(yīng)用。
VIONiC讀數(shù)頭采用直觀的自動(dòng)校準(zhǔn)模式設(shè)計(jì),易于安裝??蛇x的高級(jí)診斷工具 (Advanced Diagnostic Tool, ADT) (ADTi-100) 可在安裝或現(xiàn)場(chǎng)診斷期間提供實(shí)時(shí)的光柵數(shù)據(jù)反饋。

| 時(shí)鐘輸出選項(xiàng) (MHz) | 較高速度 (m/s) | 較小邊緣間隔* (ns) | |||||||||||
| D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0.5 μm) | W (0.2 μm) | Y (0.1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2.5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7.25 | 3.63 | 1.81 | 1.45 | 0.906 | 0.725 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 25.3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5.80 | 2.90 | 1.45 | 1.16 | 0.725 | 0.580 | 0.290 | 0.145 | 0.073 | 31.8 |
| 25 | 12 | 12 | 9.06 | 3.63 | 1.81 | 0.906 | 0.725 | 0.453 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 0.045 | 51.2 |
| 20 | 12 | 12 | 8.06 | 3.22 | 1.61 | 0.806 | 0.645 | 0.403 | 0.322 | 0.161 | 0.081 | 0.040 | 57.7 |
| 12 | 12 | 10.36 | 5.18 | 2.07 | 1.04 | 0.518 | 0.414 | 0.259 | 0.207 | 0.104 | 0.052 | 0.026 | 90.2 |
| 10 | 12 | 8.53 | 4.27 | 1.71 | 0.850 | 0.427 | 0.341 | 0.213 | 0.171 | 0.085 | 0.043 | 0.021 | 110 |
| 08 | 12 | 6.91 | 3.45 | 1.38 | 0.690 | 0.345 | 0.276 | 0.173 | 0.138 | 0.069 | 0.035 | 0.017 | 136 |
| 06 | 12 | 5.37 | 2.69 | 1.07 | 0.540 | 0.269 | 0.215 | 0.134 | 0.107 | 0.054 | 0.027 | 0.013 | 175 |
| 04 | 12 | 3.63 | 1.81 | 0.730 | 0.360 | 0.181 | 0.145 | 0.091 | 0.073 | 0.036 | 0.018 | 0.009 | 259 |
| 01 | 4.53 | 0.910 | 0.450 | 0.180 | 0.090 | 0.045 | 0.036 | 0.023 | 0.018 | 0.009 | 0.005 | 0.002 | 1038 |
X軸:讀數(shù)頭位置 (mm)Y軸:誤差 (nm)
| 柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 柵尺較大長(zhǎng)度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
搭配可選FASTRACK?的RTLC20![]() | ±5 μm/m | 20 μm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 10 m | VIONiC |
| 柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 柵尺較大長(zhǎng)度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
| RELM/RELE
| 1 m內(nèi)為±1 μm,以后±1 μm/m | 20 μm | 0.75 ±0.35 μm/m/°C | 1.5 m | VIONiC |
| 柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 柵尺較大長(zhǎng)度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
| RSLM/RSLE/RSLC
| 1 m內(nèi)為±1.5 μm,2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm,5 m內(nèi)為±4 μm | 20 μm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 5 m | VIONiC |
| 柵尺名稱 | 刻劃精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭 兼容性 |
| RESM/REST
| ±3.97至±0.38角秒 | 20 μm | 52至550 mm | VIONiC |
| 柵尺名稱 | 安裝精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
| REXM/REXT
| (≥100 mm直徑)±1角秒 (75 mm直徑)±1.5角秒 (≤57 mm直徑)±2角秒 | 20 μm | 52至417 mm | VIONiC |

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