MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。

GM-502B空氣質(zhì)量VOC傳感器采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點(diǎn)

GM-502B空氣質(zhì)量VOC傳感器適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)測 、手機(jī)電腦等消費(fèi)類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測空氣質(zhì)量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內(nèi)煙霧報警等。

注：1. R₀ 是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的標(biāo)準(zhǔn)工作條件下測得；
2. S₅₀ 即Rs(50ppm C2H5OH)/R₀(in air)是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的條件下，傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。