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更新時間:2019-10-12 23:13:47瀏覽次數(shù):2152次
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NanoCalc 反射膜厚測量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm -250um的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,在1秒鐘內(nèi)可以分析單層或多達(dá)到10層的膜厚。
NanoCalc 反射膜厚測量系統(tǒng)薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm -250um的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,在1秒鐘內(nèi)可以分析單層或多達(dá)到10層的膜厚。
產(chǎn)品特點NanoCalc 反射膜厚測量系統(tǒng)
使用原理
常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理,通過測量寬光譜范圍內(nèi)的反射率曲線來進(jìn)行膜厚測量。
查找n和k值 可以進(jìn)行多達(dá)十層的薄膜測量,薄膜和基體材質(zhì)可以是金屬、電介質(zhì)、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫,用戶也可以自己添加和編輯。 應(yīng)用 NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚測量,包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。 可調(diào)諧低通濾光片(Tunable Short Pass Filter):低通濾光片的角度調(diào)諧可以改變截止波長。可以改變的透過范圍是截至波長的12%。 寬譜截止帶通濾光片(Full Spectrum Blocking Filter):濾光片具備了超寬光譜范圍的深度截止,截止能力可達(dá)OD6. |
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