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淺談壓力傳感器的四種壓力技術(shù)

時間:2025/1/30閱讀:52
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壓力傳感器是通過將實際壓力值轉(zhuǎn)換為電信號來工作的組件。壓力傳感器可配備各種不同的傳感元件,并響應(yīng)氣體或液體壓力施加在該元件上的壓力。然后測量施加在元件上的力并將其轉(zhuǎn)換為電輸出信號,使其可以被PLC、處理器和其他計算機(jī)監(jiān)控。

壓力傳感器的四種壓力技術(shù)(圖1)

壓力傳感器的四種壓力技術(shù)

當(dāng)今市場上有許多不同的壓力傳感技術(shù)。世界各地制造商的一些技術(shù)如下:

1.電容式——在大量 OEM中,電容型壓力傳感器是一種非常受歡迎的產(chǎn)品。通過對兩個表面間電容的檢測,可以讓傳感器在非常低的氣壓和真空下產(chǎn)生感應(yīng)。在我們的傳統(tǒng)感應(yīng)器結(jié)構(gòu)中,緊密的外殼由兩個空間緊密,平行,電絕緣的金屬表面組成,其中的一層實質(zhì)上是一層薄膜,可以承受一定的壓力。這些堅固的緊固表面(或平板)是為了使部件的撓曲而改變其間的空隙(實際上是一個可變電容)。通過具有(或 ASIC)敏感的線性比較器電路來探測所生成的改變,所述電路放大并輸出成正比的高電平信號。

2.CVD類型——化學(xué)氣相沉積(或“CVD")制造方法在分子水平上將多晶硅層粘合到不銹鋼膜片上,從而生產(chǎn)出具有長期漂移性能的傳感器。常見的批量處理半導(dǎo)體制造方法用于以非常合理的價格創(chuàng)建具有出色性能的多晶硅應(yīng)變計電橋。CVD結(jié)構(gòu)具有出色的性價比,是OEM應(yīng)用中歡迎的傳感器。

3.濺射薄膜類型——濺射薄膜沉積(或“薄膜")可創(chuàng)建具有組合線性度、滯后性和可重復(fù)性的傳感器。精度可高達(dá)滿量程的0.08%,而長期漂移每年低至滿量程的0.06%。

4.MMS類型——這些傳感器通過微處理的硅片(MMS)來探測壓力的改變。硅膜是由充滿油的316 SS隔膜而不會受到介質(zhì)的干擾,并與工藝液的壓力發(fā)生串聯(lián)反應(yīng)。MMS傳感器是一種應(yīng)用于普通半導(dǎo)體工藝的新型傳感器,它具有高的耐壓、線性度、熱沖擊和穩(wěn)定性。

5.微熔類型——玻璃微熔技術(shù),將17-4PH低碳鋼通過高溫玻璃粉將硅應(yīng)變計燒結(jié)在腔體的背面,壓力腔體采用進(jìn)口17-4PH不銹鋼整體加工,無"O"型圈、無焊縫,無泄漏隱患。

壓力傳感器的四種壓力技術(shù)(圖2)

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