應用領域：

等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。  

中試生產型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設計的等離子體表面處理設備。配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產場景清洗，活化、刻蝕等應用。設備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，產品性能穩(wěn)定，樣品處理重復性、一致性好。

產品特點

u 7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。

u PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

u 采用質量流量計，氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)?？奢斎?/span>氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

u 采用多孔道進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u 316不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

u 全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質。

u 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

u 合理的結構設計，設備占用空間小。

u 可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

u 使用成本低、耗損小。

u 產品性能穩(wěn)定，安裝維護，簡單方便。

u 安全保護，艙門打開，自動關閉電源。

u 機器運行、停止提示。

技術參數(shù)