產(chǎn)品型號

TEM

等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)

遠程等離子源，自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸?180xH100mm

清洗數(shù)量

可同時清洗3支TEM樣品桿

適配品牌

美國THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本電子（JEOL）

氣體控制

標配單路質(zhì)量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計，測量范圍1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

真空泵

前級泵

抽氣速率2.5 m3/h

分子泵

極限真空：LF<8*10^-6Pa，CF<8*10^-7Pa

分子泵抽速85L/s（N2）

入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/ CF

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保，終身維護

電    源

AC220V、50/60Hz，300W

產(chǎn)品尺寸

L565xW505xH560mm

包裝尺寸

L715xW655xH820mm