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日本新宇宙COSMOS PS-7在線式氣體監(jiān)測儀

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更新時間：2021-08-29 10:37:01瀏覽次數(shù)：86次

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產(chǎn)品簡介

日本新宇宙COSMOSPS-7在線式氣體監(jiān)測儀型號：新宇宙式特氣檢測部PS-7（半導(dǎo)體工廠用）特性：專為半導(dǎo)體行業(yè)定制

詳細介紹

日本新宇宙COSMOS PS-7在線式氣體監(jiān)測儀
型號：新宇宙式特氣檢測部 PS-7（半導(dǎo)體工廠用）
特性：專為半導(dǎo)體行業(yè)定制，傳感器自由更換，維護方便
檢測對象：半導(dǎo)體材料氣體
檢測方式：
特點：帶有氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然
實現(xiàn)小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設(shè)定多樣的維護模式
組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等
實現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格
日本新宇宙COSMOS PS-7在線式氣體監(jiān)測儀

型號	PS-7
標(biāo)準型	附帶轉(zhuǎn)換器組件型
檢測原理	•定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式 •熱分解+定電位電解式
采樣方式	泵吸引式（0.5L/min吸引流量自動控制）
采樣配管	特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi)
氣體濃度顯示	液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖

報警接點	•氣體報警（1段以及二級）報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 •流量降低報警堵塞指示顯示：流量顯示為低速運轉(zhuǎn) 報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉(zhuǎn)狀態(tài) •傳感器故障報警/傳感器誤插入報警報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 SENS.顯示 •熱分解爐斷線報警報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 CONV.顯示
外部輸出	氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負極通用）氣體報警接點（1段以及兩極） 1a無電壓接點/自動復(fù)位故障報警接點（開路集電極/自動復(fù)位）
適合電纜線	控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露）
使用電源	DC24V±10%
消耗電力	約7w
尺寸	•W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物)
重量	約1.0kg
安裝方法	壁掛式