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原位動態(tài)光譜測試方案

時間:2025/7/30閱讀:52
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鈣鈦礦和有機(jī)半導(dǎo)體薄膜在發(fā)光面板、光伏、半導(dǎo)體晶體管等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。這些薄膜主要通過溶液旋涂、刮涂、絲網(wǎng)印刷、狹縫涂布等工藝實現(xiàn)。在溶劑揮發(fā)過程中,材料從溶液態(tài)向薄膜固態(tài)逐步進(jìn)行相轉(zhuǎn)變,與之同時材料的光學(xué)特性,包括熒光光譜特性、吸收光譜特性、反射光譜特性均會隨著溶劑的揮發(fā)而改變。


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因此,科研人員可以通過研究多種光譜的變化來理解半導(dǎo)體成膜過程中的相變過程。另一方面,在半導(dǎo)體薄膜老化過程中,材料的多種光譜特性也會發(fā)生變化,那么可以通過原位跟蹤材料光譜的變化深入理解材料的老化機(jī)制。


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在時間分辨光譜儀方面我公司推出高靈敏度高分辨率動態(tài)吸收、動態(tài)熒光和動態(tài)反射多光譜系統(tǒng),一套系統(tǒng)(集成了旋涂、寬波段組合光源、激發(fā)光源以及多光譜儀),可原位獲得旋涂過程中吸收光譜、熒光(PL)光譜和反射光譜的動態(tài)變化(時間分辨率1 ms,光學(xué)分辨率0.1 nm)。該系統(tǒng)集成度高,方便放置到手套箱。因此,該系統(tǒng)可以原位監(jiān)測化學(xué)反應(yīng)動力學(xué)和材料相變過程,可用于跟蹤溶劑揮發(fā)、溶劑退火、熱退火過程中的材料相變,并在化學(xué)反應(yīng)動力學(xué)、生化過程的跟蹤檢測方面具有優(yōu)勢。


在空間分辨光譜方面,對于很多半導(dǎo)體薄膜材料,溶劑揮發(fā)過程中,液膜垂直方向上不同位置處的表面能、溶劑濃度、界面化學(xué)等都會存在動態(tài)差異,從而引起薄膜垂直相分離或者分子(微晶)取向的不同。人們希望通過空間分辨的光譜技術(shù)(反射光譜、吸收光譜、熒光光譜)等來理解相變的空間特性。


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