歐洲計量創(chuàng)新與研究計劃項目開發(fā)了新的 NanoXSpot (NxS) 測量儀，具有線組、西門子星形和孔圖，用于測量小至 100 納米的聚焦光斑

計算機斷層掃描 (CT)可以根據(jù)從物體周圍不同角度拍攝的一系列 X 射線圖像重建物體的體積數(shù)據(jù)集，這項技術被廣泛用于醫(yī)學中的患者診斷。此外，它還被用于航空航天和電子等行業(yè)的無損檢測、缺陷與內部結構的評估以及產(chǎn)品尺寸的驗證。這些行業(yè)對檢測分辨力的要求小至納米級。

隨著電子設備的小型化變得越來越普遍，以及隨著新技術（如電動汽車）的出現(xiàn)和航空工業(yè)中輕質化合物的使用，對 5微米或更小分辨力（大約人類頭發(fā)絲寬度的 1/10）的 CT 測量的需求日益增加。X 射線管的光斑尺寸直接影響到測量分辨力。但是，對于5微米以下的 X 射線管光斑尺寸，沒有標準或測量方法。X 射線設備制造商采用自有的測量方法導致了不一致的結果。因此，研究人員正在開發(fā)基于可溯源表征的測量儀來確定光斑大小、形狀和位置的新方法，并將作為這些光斑測量的標準引入。

歐洲計量創(chuàng)新與研究計劃（EMPIR）項目《對光斑小至100納米的 X 射線管焦斑尺寸的測量（NanoXSpot，18NRM07）》正在開發(fā)新的標準實踐，以比目前更高的準確度水平表征 X 射線焦斑。

X 射線管的質量保證 – 光斑尺寸和形狀
一段時間后，可能會觀察到 X 射線管（尤其是納米和微焦管）目標的燒毀使用量，這可能導致光斑尺寸增加。一些管制造商允許管目標旋轉。這允許改變目標上的焦點位置并提供不失真的焦點尺寸

NanoXSpot 測量儀 (NxS)

? 全新測量儀設計 NxS-1020 最終確定：

• 使用新開發(fā)的算法進行焦點測量和特性分析

• 全新焦點 CT 重建算法

? 樣品支架設計便于測量儀使用

? NxS 測量儀上的圖案組（4 個象限）：

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 3-12 µm（Q1）

• 會聚線組圖案（Q2 和 Q3）（類似于西門子星）

• 直徑為 5 µm 至 1 mm 的孔圖案（Q4）

重新設計的 NxS-1022b 儀表

? 樣品架設計便于使用儀表

? NxS 儀表上的圖案組（4 個象限）：

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 4-20 µm（Q1）

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 63 µm（Q2）

• 直徑為 5 µm 至 1000 µm 的孔圖案（Q3）

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 25-50 µm（Q4）

NanoXSpot微焦點測試儀，NanoXSpot焦點測試儀規(guī)格：

外形尺寸：10 mm x 10 mm 芯片尺寸（帶藍寶石玻璃蓋的支架：40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米）

材料

襯底：200 μm 厚硅

吸收器：8 μm 高的金
線寬/間距：公差：+/- 15%
圖形線寬 [μm]：4 個象限，每個象限 4 mm x 4 mm;2 個經(jīng)過改進的西門子星形，具有圓孔和 5 條平行金線，線寬和間距分別為 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小線寬：3 μm。最小孔徑：5 μm

關鍵詞：標準儀表測量儀

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微焦點測試儀

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