CWP系列產(chǎn)品陰極均水平安裝,產(chǎn)品裝夾在載板上從陰極處連續(xù)通過。設備由多組模塊化真空腔室組成,腔室內可配置平面陰極或移動平面陰極、旋轉陰極、線性離子源等功能部件,可對工件表面進行離子清洗和刻蝕,實現(xiàn)金屬、金屬化合物等各類材料的真空沉積。