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石墨純化爐

  • 石墨純化爐
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌
  • 型號(hào) GP120
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2025-09-06 09:26:13瀏覽次數(shù):199評(píng)價(jià)

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GP120石墨純化爐GP120Graphitepurificationfurnace高純石墨主要應(yīng)用于半導(dǎo)體等對(duì)石墨雜質(zhì)要求非常苛刻的領(lǐng)域,北方華創(chuàng)真空研發(fā)采用化學(xué)凈化法,在高溫下,利用化學(xué)氣體對(duì)石墨進(jìn)行凈化的設(shè)備與工藝,純化后的石墨總灰分可達(dá)到5ppm
GP120 石墨純化爐
GP120 Graphite purification furnace
高純石墨主要應(yīng)用于半導(dǎo)體等對(duì)石墨雜質(zhì)要求非??量痰念I(lǐng)域,北方華創(chuàng)真空研發(fā)采用化學(xué)凈化法,在高溫下,利用化學(xué)氣體對(duì)石墨進(jìn)行凈化的設(shè)備與工藝,純化后的石墨總灰分可達(dá)到5ppm。
設(shè)備特點(diǎn)
  • 穩(wěn)定的超高溫結(jié)構(gòu)
  • 行業(yè)內(nèi)較低的能耗控制技術(shù)
  • 完備的凈化氣體解決方案
  • 精準(zhǔn)的氣體與流場(chǎng)控制
技術(shù)指標(biāo)
  • 工作溫度
    2400℃
  • 工藝氣體
    鹵素氣體
  • 溫度均勻性
    ≤±5℃
  • 冷態(tài)極限真空度
    5Pa

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