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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

上海馬弗爐科技儀器有限公司


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兩路質(zhì)子供氣系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：徐弋航查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-09-22 13:05:32瀏覽次數(shù)：79次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：50條

所在地區(qū)：浙江杭州市

聯(lián)系人：徐弋航 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

兩路質(zhì)子供氣系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

商品描述


一、產(chǎn)品描述

MFLGQ-2Z是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)。各通道氣路配單獨(dú)的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示，便與操控。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。。



二、產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

  • 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。

  • 3．每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證。

  • 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì)，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

  • 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。



技術(shù)參數(shù)：

性能氣路通道2路  （可做3   4     5  路供氣）
氣路流量控制質(zhì)子流量控制器（七星流量計(jì)）
控制精度±1.5%F.S
重復(fù)精度±0.2%F.S
流量范圍1-500 SCCM
機(jī)械壓力表一塊機(jī)械壓力表在面板，和混氣灌連接
量程：-0.1～0.15   Mpa
規(guī)格外形尺寸參考尺寸600*700*750mm（深*寬*高)
重量40KG 



一、售后服務(wù)

          ：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）


二、注意事項(xiàng)     


·嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門。

·流量計(jì)通道采用的材料為∶00Cr17面il4Mo2（相當(dāng)于316L不銹鋼），通入的氣體應(yīng)無水汽、低泄漏、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。

·不得通氯化物、硫化物、等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。

·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02-0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）

·氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時(shí)，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動(dòng)作要輕緩。.氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽(yáng)光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

·嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

·每只氣瓶必須保留0.5 MPa的余壓。



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