山東東南儀誠實驗室設備有限公司
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所 在 地濟南市
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更新時間:2025-12-15 16:39:15瀏覽次數(shù):66次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)型號PDC200PDC210PDC510等離子模式RIE(DP模式選配)RIE/DP電極構造平行平板(固定)高頻輸出Max300WMax500W頻率13
| 型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 等離子模式 | RIE(DP模式選配) | RIE/DP | |
| 電極構造 | 平行平板(固定) | ||
| 高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
| 反應室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
| 電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
| 反應室材質 | 鋁 | ||
| 反應氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) | ||
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
| 反應氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | |
| 真空泵 | 另行選配 | 油泵(約345L/分)標配 | 油泵(約500L/分)標配 |
| 氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 | ||
| 外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
| 重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
| 電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |

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