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行業(yè)產(chǎn)品

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南京昊盛實驗儀器有限公司


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七星D07系列質(zhì)量流量計 低流量精密氣體流量計

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地南京市

聯(lián)系方式：韓濤查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-12-28 15:57:58瀏覽次數(shù)：207次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：107條

所在地區(qū)：江蘇南京市

聯(lián)系人：韓濤 （銷售）

產(chǎn)品簡介

質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量；質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制

詳細介紹

質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量；質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。他們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴撒、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、色相譜儀及其它分析儀器。
       D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點，其操作使用方面，可任意位置安裝，并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。
       D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計一般與D08系列流量顯示儀等產(chǎn)片配套使用，控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。 

 

項目/型號

D07-11B

D07-11BM

流量規(guī)格

（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM

（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM

準(zhǔn)確度

±1%F.S

±1.5%F.S

線性

±（0.5~1）%F.S

±（0.5~1.5）%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

±0.2%F.S

響應(yīng)時間

電特性：10sce
氣特性：（1~4）sce

10sce

工作壓差范圍

（0.2~0.8）MPa

 氣壓降＜0.01MPa

耐壓

10MPa

10MPa

工作環(huán)境溫度

5℃~45℃

5℃~45℃

輸入輸出信號

0V~+5.00V
（輸入阻抗大于100K，輸出電流大于3mA）

0V~+5.00V
（輸入阻抗大于100K，輸出電流大于3mA）

電源

+15V  50mA
-15V  200mA

+15V  50mA
-15V  50mA

重量

1.1Kg

0.92Kg


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