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APC鐘擺閥標(biāo)準(zhǔn)閘閥表面處理:鍍鎳、硬陽Htc真空3位置鐘擺閥通過可調(diào)控制氣缸實(shí)現(xiàn)真空隔離和真空壓力控制。
真空鐘擺閥動(dòng)閥連接了傳感器，讓控制器可以讓閥門打開，關(guān)閉或到第三個(gè)位置，提供更好的設(shè)定點(diǎn)精確度和可重複性控制功能。
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