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PEV-1美國(guó)HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場(chǎng)合，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括: 磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽(yáng)能電池，ITO，等離子體刻蝕等。
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