SQC-310系列高精度順序沉積或共沉積控制儀

憑借技術、增強的顯示和實惠的價格，INFICON SQC-310 系列提供同類薄膜控制器無法企及的優(yōu)勢。您可以為自己的應用選擇理想的型號：連續(xù)沉積 （SQC-310） 或共沉積 （SQC-310C）。

功能

• 明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本

• 標準 RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網）

• 設有 “Quick Setup"（快速設定）菜單、6 個區(qū)分上下文按鈕以及一個簡便的參數(shù)設定旋鈕，易于設定和操作

• 用于開發(fā)、測試和下載過程的 Windows^®程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序

• 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測量速率為每秒 10 個讀數(shù)，測量分辨率為 ±0.03 Hz

• 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料

• 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控