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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地合肥市
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更新時間:2026-03-20 13:18:18瀏覽次數(shù):97次
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回轉(zhuǎn)PECVD BTF-1200C-R-PECVD
智能型雙溫區(qū)等離子化學氣相沉積系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-II-A


| 設備視頻 | ![]() ![]() ![]() |
| 供電電源 | 電壓單相AC 220V,頻率50HZ,功率3KW |
| 空氣開關:AC220V(L+N+PE)2P 20A空開 3x2.5mm(客戶自備) | |
| 接地電阻小于4Ω的接地線 | |
| 標配電源線長度2.5m | |
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| 工作溫度 | 溫度:1200℃,工作溫度:≤1100℃ |
| 推薦升溫速度:15℃/min | |
| 溫區(qū)長度 | 加熱區(qū)長度440mm |
| 恒溫區(qū)長度200mm | |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 熱電偶 | K型熱電偶 |
| 密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)端口可按實際使用擴展 ![]() |
| 爐門結(jié)構(gòu) | 開啟式 |
| 尺寸(長x寬x高) | 設備尺寸:630x410x530mm 包裝尺寸:890x520x710mm ![]() |
| 重量 | 凈重:約53kg 毛重:約78kg |
| 溫控系統(tǒng) | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制, 根據(jù)不同的客戶需求來設定升降溫程序,具有超溫和斷偶報警功能 ![]() |
| 爐管與法蘭 | 爐管管徑:Φ50/Φ60/Φ80/Φ100(可選可定制) 不銹鋼快接卡箍法蘭,采用硅膠密封圈密封 真空度10-2torr (采用機械泵) |
| 安裝有一機械壓力表,測量范圍為-0.1~0.15MP 法蘭配有相應接口,根據(jù)客戶需求連接相應設備 | |
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| 真空系統(tǒng)(選配) | ①型號:DRV-10 ②抽氣速率:9.9 m3/h ③極限壓強:5×10-1 Pa(不帶負載) ④電機功率:400 W ⑤重量:25 kg ⑥所需油量:1.1 L |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護 |
| 耗材部分如熱電偶、硅膠圈、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 因人為使用不當造成的損害,不在保修范圍內(nèi) ![]() ![]() | |
| 注意事項 | ①石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓)②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。為了確保安全,建議采購壓力低于0.02MPa的品牌減壓閥產(chǎn)品, 量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全③對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)④不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。 |
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