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MASS FLOW CONTROLLER（質(zhì)量流量計(jì)，縮寫MFC） 氣體質(zhì)量流量計(jì)七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流

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更新時(shí)間：2026-03-20 18:16:13瀏覽次數(shù)：188次

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MASS FLOW CONTROLLER（質(zhì)量流量計(jì)，縮寫MFC） 氣體質(zhì)量流量計(jì)七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計(jì)D07/scc/匯博隆流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào) D07-7B
產(chǎn)品類型 N2 其他氣體校準(zhǔn)的DOC可按要求訂購(gòu)交貨時(shí)間為4周
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm(可選)
產(chǎn)品精度 ±1.5％F.S.
重復(fù)精度 ±0.2% FS
線性 ±1％F.S.
響應(yīng)時(shí)間 ≤10sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa
密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號(hào) (0~5)VDC
電源 ±15V
閥類型 常閉
溫度系數(shù) - 無(wú) -
零點(diǎn)飄移指標(biāo) - 無(wú) -
電氣連接 D sub 15 pins Female
工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa
漏率 1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 雙卡套1/8"(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8",φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分 - 無(wú) -
表面粗糙度 - 無(wú) -
抗電磁干擾 CE
重量 1.1kg
 

 

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