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小型浮動催化系統 BTF-1500C-CVD

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地合肥市

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更新時間：2026-03-22 10:09:47瀏覽次數：110次

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（1）該款設備是小型浮動催化CVD系統，配備真空系統，可以低壓條件下進行實驗；設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件

（1）該款設備是小型浮動催化 CVD 系統，配備真空系統，可以低壓條件下進行實驗；設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件。
（2）加熱爐為三溫區(qū)立式爐，上端法蘭配有導液桿（可上下調節(jié)）和 1 個進氣口；下端法蘭配有安全保護泄壓裝置，底部配有收集罐，收集罐放置于小車上便于移動，真空系統方面由一個電阻規(guī)和一臺 BSV30機械泵組成；尾部配有不銹鋼過濾裝置；加熱爐爐體為密封結構，同時備有可通循環(huán)氣體的進出口。
（3）防爆控制柜配有 15 寸觸摸屏及按鈕操作組件，下方配有氧分析儀、觸摸防爆鼠標以及氣路手閥組件；柜體左側配有可切換鼓泡裝置的組件；最頂部箱體配有雙向推拉注射泵，供液體連續(xù)工作。
 

電壓

380V

功率

13.5KW

加熱區(qū)長度

250mm*250mm*250mm

工作溫度

≤1500℃

推薦升溫速率

1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min，1600℃以下≤2℃/min

熱電偶

B型熱電偶

控溫方式

模糊PID控制和自動整定調節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

加熱元件

硅鉬棒  12根（每個溫區(qū)上下各4根）

加熱爐尺寸

1225*1220*2350mm（長x寬x高）

控制柜尺寸

1110*1020*2710mm（長x寬x高）

設備總重

約780Kg

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