VMS卡套連接直通接頭半導(dǎo)體管閥件防泄漏采用JPE精密雙卡套設(shè)計(jì)，由螺母、后卡套、前卡套和本體四個(gè)精密部件組成。各部件經(jīng)嚴(yán)格公差控制，確保高度配合一致性，即使在高壓、強(qiáng)振動(dòng)等嚴(yán)苛工況下仍能維持穩(wěn)定的密封性能。1寸及以下規(guī)格均可通過(guò)手動(dòng)工具快速完成安裝，現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)便利。所有不銹鋼螺母皆經(jīng)鍍銀處理，有效防止螺紋咬死，便于多次拆裝維護(hù)。

材質(zhì)優(yōu)勢(shì)

SS316L低碳不銹鋼（含碳量≤0.03%）具備優(yōu)異的抗氯離子腐蝕能力，在半導(dǎo)體產(chǎn)線中常見(jiàn)的強(qiáng)腐蝕性特氣（如氯氣、硅烷等）環(huán)境中表現(xiàn)出耐化學(xué)腐蝕性能。其低碳特性可減少焊接熱影響區(qū)的碳化物析出（敏化），確保長(zhǎng)期服役中材料性能的穩(wěn)定性，是半導(dǎo)體管閥件體系中的優(yōu)選材質(zhì)

密封性能

VMS卡套連接直通接頭半導(dǎo)體管閥件防泄漏在管道連接處提供防滲漏、無(wú)扭矩密封，杜絕儀表系統(tǒng)和工藝管道系統(tǒng)中嚴(yán)重的泄漏危害。雙卡套結(jié)構(gòu)利用螺母鎖緊時(shí)前、后卡套產(chǎn)生的軸向推力，使前卡套切入管壁形成主密封，后卡套起到抗振和輔助密封作用，從而承受高壓、溫度循環(huán)及機(jī)械振動(dòng)沖擊，確保半導(dǎo)體氣體管路系統(tǒng)的長(zhǎng)期可靠性。

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造設(shè)備氣體輸送系統(tǒng)

高純度特種氣體（硅烷、氬氣、氯氣等）管路連接

真空與工藝排氣系統(tǒng)

氣體分配與控制模組

分析儀器及儀表管線

實(shí)驗(yàn)室高純流體設(shè)施

生物醫(yī)藥潔凈流體系統(tǒng)

詳細(xì)尺寸信息如下：

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