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更新時間：2026-09-09 21:19:17瀏覽次數(shù)：58次

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產(chǎn)品簡介

ADPC 302 是一款在半導體領域的用于粒子污染監(jiān)測的過程內(nèi)污染管理系統(tǒng)。

詳細介紹

高效粒子監(jiān)測

亞微米粒子會造成可能導致相當大產(chǎn)量損失的缺陷。即使是測量值為 0.1 μm 的最小粒子，也可能會損壞半導體芯片的結(jié)構(gòu)。創(chuàng)新的 ADPC 302 可測量晶片傳送載體內(nèi)的粒子數(shù)量（前開式晶圓傳送盒 FOUP，前開式裝運箱 FOSB）。全自動的工藝從載體表面(包括門)對粒子進行定位和計數(shù)。得益于的晶圓，該系統(tǒng)可用于成批生產(chǎn)和研發(fā)分析。主要應用是載體特征化、清洗策略優(yōu)化和清洗質(zhì)量檢查。與傳統(tǒng)濕法相比較（液體顆粒計數(shù)器），ADPC 的干式工藝（干式粒子計數(shù)器）顯示出了明顯的優(yōu)勢。干式工藝的主要優(yōu)勢在于粒子測量是自動的。它是在生產(chǎn)過程中集成的，因此不再需要生產(chǎn)周期之外的時間。有了全自動測量，該過程無需額外的操作員。測試時間只需７分鐘，意味著 ADPC 302 的速度是傳統(tǒng)系統(tǒng)的４倍?？稍?１個小時內(nèi)測試 8 個運輸箱。

關鍵詞：顆粒計數(shù)器粒子計數(shù)器

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