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德國 MIB 超聲波流量計(jì)在光伏、半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

      發(fā)布時(shí)間:2026-06-25
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  01 | MIB公司介紹  

MIB GmbH——超聲波流量計(jì)制造商

我們深諳工藝流程,提供適配的測量技術(shù)。


公司宗旨,基于超聲波技術(shù)的測量儀器的研發(fā)、生產(chǎn)、市場營銷與銷售;核心技術(shù)受自有保護(hù);


目標(biāo)市場面向以下制造業(yè)工廠建設(shè)、過程與工廠自動化、機(jī)械與設(shè)備制造、半導(dǎo)體/太陽能電池生產(chǎn)、各類化學(xué)加工、水處理/廢水處理、制藥/醫(yī)療保健。


  02 | 工作原理 


圖:超聲波測量原理介紹

采用超聲相位差原理的物理背景類似于“逆流游泳更費(fèi)力"——超聲波順流傳播時(shí)速度加快、逆流傳播時(shí)速度減慢,導(dǎo)致兩個(gè)方向接收到的波形在相位上產(chǎn)生偏移。通過檢測這一偏移量(相位差),即可直接得到流速,再結(jié)合管道橫截面積得出體積流量。


  03 |  光伏、半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用場景 

Flowmax 400i 與 Flowmax 54i —— 面向光伏/半導(dǎo)體市場

★Flowmax 超聲波產(chǎn)品線的組成部分

  • 高純度流量測量系統(tǒng),采用 PFA 管體(FM 400i、FM 4000i)或 PP-H 本色、PVDF 管體(FM 54i),專為高純度化學(xué)品設(shè)計(jì)

  • 在光伏和半導(dǎo)體市場已取得成功應(yīng)用

  • 非接觸式流量測量,無運(yùn)動部件

  • 測量精度 < 1% / 重復(fù)性 < 0.5%

  • 可測量大多數(shù)高純工藝(HP process)液體的流量

  • 超聲波渡越時(shí)間輸出,用于介質(zhì)分析

  • 適用于摻雜(spiking)及設(shè)施應(yīng)用中的液體過程控制與管理

  • 高性價(jià)比

  • 市場上最寬的流量范圍(0.03 – 900 L/min)

  • 管內(nèi)(InLine)設(shè)計(jì)

  • 每臺流量計(jì)均附有出廠校準(zhǔn)證書


Flowmax 400i PFA

超聲波流量計(jì)


緊湊型版本

---


介質(zhì)溫度最高

 60°C


防爆

ATEX EEx 2區(qū)

ATEX EEx 1區(qū)




分體型版本

---


介質(zhì)溫度最高

90°C



口徑

流量范圍

DN 07

0.03 – 6.0 l/min

DN 07

0.09 – 6.0 l/min

DN 10

0.30 – 24.0 l/min

DN 15

0.90 – 60.0 l/min

DN 20

1.20 – 120.0 l/min


Flowmax 400i

MIB

超聲波流量測量的功能特性:


  • 適用于超高純水、化學(xué)品和漿料的流量測量

  • 高純度 PFA 測量管,外殼防護(hù)等級 IP65

  • 緊湊型或分體型電子單元

  • 分體型電子單元可帶或不帶集成顯示屏

  • 尺寸 3/8" 至 1"(DN 7;10;15;20:流量范圍 0.03 – 120 l/min)

  • 測量精度 < 1%,重復(fù)性 0.5%

  • 快速的讀數(shù)速度 4 ms,配料時(shí)間 > 1秒(需配合快速閥門)

  • 介質(zhì)/環(huán)境溫度 0° … +90°C(32°F … 194°F)

  • 最大流體壓力可達(dá) 6 bar

  • 總線連接(RS 485、Modbus 等);模擬/數(shù)字輸出

  • 集成功能:

  1. 空管檢測

  2. 非浸潤式溫度傳感器

  3. 超聲波渡越時(shí)間輸出,用于介質(zhì)分析


Flowmax 400i 管內(nèi)設(shè)計(jì)

PFA(聚四氟乙烯)設(shè)計(jì)


Flowmax 4000i PFA

超聲波流量計(jì)


緊湊型版本 —— 介質(zhì)溫度最高 60°C


口徑

流量范圍

?

0.0025 – 1.2 l/min

?"

0.010 – 6.0 l/mi

Flowmax 4000i

MIB

超聲波流量測量的功能特性:


  • 適用于超高純水、化學(xué)品和漿料的流量測量

  • 高純度 PFA 測量管,外殼防護(hù)等級 IP65

  • 緊湊型或分體型電子單元

  • 尺寸 ?" 和 ?"(流量范圍 0.0025 – 6.0 l/min)

  • 測量精度 < 1%,重復(fù)性 0.5%

  • 介質(zhì)/環(huán)境溫度 +60°C

  • 最大流體壓力可達(dá) 6 bar

  • 總線連接(RS 485、Modbus 等);模擬/數(shù)字輸出

  • 集成功能:

  1. 空管檢測

  2. 非浸潤式溫度傳感器

  3. 超聲波渡越時(shí)間輸出,用于介質(zhì)分析


Flowmax 54i PP-H 本色、PVD

超聲波流量計(jì)


口徑

流量范圍

DN 25

5.0 – 180 l/min

DN 32

9.0 – 300 l/m

DN 40

18.0 – 480 l/min

DN 50

36.0 – 900 l/min

Flowmax 54i

MIB

超聲波流量測量的功能特性:


  • 適用于超高純水、化學(xué)品和漿料的流量測量

  • PP-H 本色或 PVDF 測量管

  • 外殼防護(hù)等級 IP65

  • 可帶或不帶集成顯示屏

  • 尺寸 DN 25;32;40;50:流量范圍 5 – 900 l/min

  • 測量精度 < 1%,重復(fù)性 0.5%

  • 快速的讀數(shù)速度 4 ms,配料時(shí)間 > 1秒(需配合快速閥門)

  • 介質(zhì)/環(huán)境溫度 0° – +50°C(32°F – 122°F)

  • 最大流體壓力可達(dá) 6 bar

  • 總線連接(RS 485、Modbus 等);模擬/數(shù)字輸出

  • 集成功能:

  1. 空管檢測

  2. 非浸潤式溫度傳感器

  3. 超聲波渡越時(shí)間輸出,用于介質(zhì)分析


典型應(yīng)用

Flowmax 400i / Flowmax 4000i 

Flowmax 54i 的


使用 Flowmax 400i / 54i,我們能夠測量大多數(shù)關(guān)鍵性強(qiáng)腐蝕酸液和堿液,包括去離子水、氨水溶液、緩沖氧化物蝕刻液 BOE、醋酸、輕氟酸、硫酸、鹽酸等。


  • 工具(濕法工藝設(shè)備)的消耗量測量

  • 液體體積的配料、灌裝和摻雜(spiking)

  • 利用聲速測量進(jìn)行介質(zhì)分析(可選功能)

  • 液體的槽液管理與控制(例如 HCl / H?SO? / HNO?……)


聲速測量——Flowmax 的可選功能

MIB



蠕動泵輸送液體時(shí)的典型流量曲線

MIB


如果流量計(jì)的讀數(shù)速度足夠快(如 Flowmax 可達(dá)到每秒 250 次讀數(shù)),則能完整記錄和精確處理整個(gè)流量路徑。這適用于所有涉及泵和閥門的工藝過程。


半導(dǎo)體、光伏應(yīng)用案例

MIB

安裝于半導(dǎo)體冷卻回路中——去離子水


半導(dǎo)體 FSI 晶圓噴淋處理系統(tǒng)


安裝于半導(dǎo)體設(shè)施中


半導(dǎo)體設(shè)施——從儲罐到機(jī)臺的管線

安裝于半導(dǎo)體設(shè)備上



一臺儀器完成三項(xiàng)任務(wù):

Flowmax 被用于配料、控制和濃度監(jiān)控。


濕法工藝領(lǐng)域部分設(shè)備制造商的創(chuàng)新成果是為其設(shè)備增加了一臺多功能流量計(jì)。在該設(shè)備中,F(xiàn)lowmax 被用于化學(xué)品的精確配料、消耗量控制以及濃度的質(zhì)量控制?;瘜W(xué)混合物所需的濃度由系統(tǒng)自動控制和調(diào)節(jié)。


安裝于光伏設(shè)施中


一臺儀器完成三項(xiàng)任務(wù):

Flowmax 被用于配料、控制和濃度監(jiān)控。


濕法工藝領(lǐng)域部分設(shè)備制造商的創(chuàng)新成果是為其設(shè)備增加了一臺多功能流量計(jì)。在該設(shè)備中,F(xiàn)lowmax 被用于化學(xué)品的精確配料、消耗量控制以及濃度的質(zhì)量控制?;瘜W(xué)混合物所需的濃度由系統(tǒng)自動控制和調(diào)節(jié)。


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