產(chǎn)品概述

塞維歐SEIVIO Vaculub B042 半導(dǎo)體真空潤(rùn)滑脂采用蒸汽壓較低的直線分子結(jié)構(gòu)的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是一種專(zhuān)門(mén)為半導(dǎo)體制造設(shè)備、高真空環(huán)境及潔凈室設(shè)計(jì)的特種潤(rùn)滑劑。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，由于涉及ji高真空、ji高/極低溫以及對(duì)微小塵埃的“零容忍"，普通潤(rùn)滑油會(huì)揮發(fā)并污染芯片，因此必須使用這種高性能的合成脂。

產(chǎn)品特性

+ 極低蒸氣壓（低揮發(fā)性）：這是最關(guān)鍵的特性。在真空環(huán)境下，普通油脂會(huì)迅速揮發(fā)成氣體，不僅導(dǎo)致潤(rùn)滑失效，還會(huì)污染真空腔體和晶圓；

+ 高潔凈度（低出氣量）：嚴(yán)格控制總質(zhì)量損失（TML）和可冷凝揮發(fā)物（CVCM），確保不會(huì)產(chǎn)生冷凝物沉積在精密的光學(xué)元件或硅片上；

+ 優(yōu)異的耐化學(xué)性：半導(dǎo)體工藝常涉及蝕刻氣體、等離子體和各種化學(xué)試劑。這種潤(rùn)滑脂通常采用全氟聚醚（PFPE）基礎(chǔ)油，能抵抗強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及強(qiáng)氧化劑；

+ 不導(dǎo)電與抗輻射：良好的介電性能，且在離子注入等涉及輻射的工序中不會(huì)變質(zhì)。

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于典型應(yīng)用場(chǎng)景（半導(dǎo)體核心設(shè)備）

真空腔體密封：PVD/CVD 鍍膜、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、ALD、擴(kuò)散爐、真空烘箱的法蘭、O 型圈、接頭、門(mén)閥密封；

精密傳動(dòng)潤(rùn)滑：晶圓傳輸機(jī)械手、真空軸承、滾珠絲杠、線性導(dǎo)軌、真空閥門(mén)、真空泵、光刻機(jī) / 步進(jìn)機(jī)的運(yùn)動(dòng)部件潤(rùn)滑；

光學(xué) / 真空部件：激光設(shè)備、真空視窗、光學(xué)鏡頭、舞臺(tái)燈光等精密真空光學(xué)系統(tǒng)。

包裝規(guī)格

1kg/罐裝      訂貨號(hào) 147802

儲(chǔ)存運(yùn)輸

應(yīng)在常溫、陰涼、避光處保存，禁止在陽(yáng)光下直曬，以免油脂分離及分解。在原包裝中保質(zhì)期可達(dá)36個(gè)月。

使用建議

薄涂原則： 只需要在表面形成一層連續(xù)的薄膜即可。過(guò)量的油脂可能會(huì)被吸入真空泵造成污染，或流進(jìn)反應(yīng)瓶影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

清潔： 在更換或重新涂抹前，必須用異丙基醇、己烷或?qū)Ｓ们逑磩⑴f的殘余油脂及吸附的灰塵清除。

關(guān)于塞維歐®SEIVIO

作為比瑟奴潤(rùn)滑科技®在中國(guó)的子品牌，塞維歐致力于為客戶提供高品質(zhì)的半導(dǎo)體真空潤(rùn)滑脂應(yīng)用解決方案、專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。聯(lián)系我們，了解更多產(chǎn)品信息！