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Xα-2H 氣體減壓器

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更新時間：2026-05-14 12:19:32瀏覽次數(shù)：105次

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中科艾爾（北京）科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：127條

所在地區(qū)：北京北京市

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產(chǎn)品簡介

進口壓力:3500psig｜出口壓力:30、60、100、150psig｜材質(zhì):316L｜工作溫度-10℃~60℃

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

Xα-2H 氣體減壓器。雙級膜片式結構設計，硬密封結構，內(nèi)部電解拋光處理；高壓輸入，低壓標準流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導體級高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。

主要部件材料

閥體	316L/316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
閥針	316L / UNS N10276
密封墊	PCTFE / PI
手柄	ABS
閥蓋	316L

工作條件

進口壓力	3500psig
出口壓力	30,60,100,150psig
原壓變動	0.025psig/100psig 0.075psig/100psig（B2H6/NF3）
工作溫度	-10 ～ 60℃
內(nèi)漏率	≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He
外漏率	≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He
流量系數(shù)	0.05
內(nèi)表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm

產(chǎn)品特點

適用于特氣柜
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設計，密封性能