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QPV（H）高速隔膜閥三通氣動隔膜閥

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中科艾爾（北京）科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

工作壓力：真空至145psig｜流量系數(shù)：0.27/0.62｜工作溫度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

QPH（H）系列高速隔膜閥，膜片式硬密封，超低漏率，長壽命，快速響應(yīng)，可選耐高溫；適用于原子層沉積（ALD）系統(tǒng)，主要用于集成電路晶圓生產(chǎn)的環(huán)節(jié)。超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體。

主要部件材料

閥體 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PFA

工作條件

工作壓力真空至145psig
流量系數(shù) 0.27/0.62
工作溫度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
內(nèi)漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.13μm

產(chǎn)品特點

快速響應(yīng)下的超長使用壽命

耐高溫執(zhí)行器

每臺閥門進行單獨氦質(zhì)譜泄漏測試

可選的模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR® 端接

關(guān)鍵詞：隔膜閥

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