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MGDS隔膜閥手動隔膜閥蓋米

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更新時間：2026-05-14 14:46:27瀏覽次數(shù)：126次

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中科艾爾（北京）科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

工作壓力:150psig｜材質(zhì):316L /316L（VIM+VAR） | 工作溫度:-10℃~80℃

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。

主要部件材料

閥體 316L /316L（VIM+VAR）

膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊 PCTFE

工作條件

工作壓力 150psig

爆破壓力 450psig

流量系數(shù) 0.1/0.3HF

工作溫度 -10 ～ 80℃

內(nèi)漏率 ≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He

外漏率 ≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He

內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm

產(chǎn)品特點

適用于一體化氣路分配系統(tǒng)

每臺閥門進行單獨氦質(zhì)譜泄漏測試

超長使用壽命

關(guān)鍵詞：隔膜閥

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