DM超聲波壓電電機(jī)線性平臺采用自研超聲壓電陶瓷驅(qū)動，依托高頻諧振摩擦實(shí)現(xiàn)直線運(yùn)動，納米級定位分辨率，微秒級啟停，無電磁干擾。無絲桿齒輪零回程間隙，斷電自鎖防漂移，長期運(yùn)行溫升低。機(jī)身輕薄緊湊，可選閉環(huán)光柵反饋與真空適配版本，行程、推力可定制。適配半導(dǎo)體探針臺、光纖耦合、顯微樣品操控、生物檢測、光學(xué)精密微調(diào)等微納定位場景，廣泛配套科研儀器與自動化精密設(shè)備。

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DM超聲波壓電電機(jī)線性平臺

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