壓電位移臺(tái)采用一體共燒壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，依托逆壓電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高精度定位，微秒級(jí)快速響應(yīng)，無(wú)回程間隙、無(wú)機(jī)械磨損。可選閉環(huán)光柵反饋，溫漂控制優(yōu)異，長(zhǎng)期重復(fù)定位穩(wěn)定。整體結(jié)構(gòu)輕薄小巧，可適配真空、寬溫工況，行程、承載尺寸支持定制。廣泛用于半導(dǎo)體晶圓微調(diào)、光纖耦合對(duì)準(zhǔn)、顯微成像、光譜檢測(cè)、主動(dòng)減振平臺(tái)、科研精密實(shí)驗(yàn)等微納操控場(chǎng)景。

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壓電位移臺(tái)

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