二維壓電高速掃描平臺(tái)采用一體化十字柔性鉸鏈與壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，XY 雙軸獨(dú)立控制，掃描響應(yīng)速度快，無機(jī)械摩擦、回程誤差極低。搭載閉環(huán)傳感，可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)定位精度，支持高速連續(xù)掃描成像。體積小巧，裝配靈活，可定制真空、高負(fù)載款式，適配共聚焦顯微、光學(xué)掃描、晶圓檢測、科研光譜測試等場景，滿足快速高精度二維微區(qū)掃描作業(yè)需求。

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二維壓電高速掃描平臺(tái)

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