津越工業(yè)設備(武漢)有限公司
UV-M03A
信索SENSORC
代理商
武漢市
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更新時間:2026-07-24 13:10:31瀏覽次數(shù):123次
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日本ORC 分體式紫外線照度光量計
本設備為日本 ORC 奧克制作所 UV-M03A 分體式紫外線照度光量計,由顯示主機搭配可互換受光探頭組成,同步采集紫外實時輻照度與累積曝光光量,主要適配高壓汞燈光源管控??梢罁?jù)光刻膠感光波段自由更換不同規(guī)格探頭,覆蓋深紫外清洗、標準光刻、長波油墨固化多種工況。機身小型輕量化,探頭與主機分離布局,方便伸入曝光機腔體狹小區(qū)域開展原位測量。
日本ORC 分體式紫外線照度光量計
工作原理:受光探頭接收紫外輻射轉化為電信號,主機運算輸出實時照度與累積曝光能量數(shù)值;設備輸出信號支持外接系統(tǒng)存儲方案,導出報表用于光電工藝復盤。
型號:UV-M03A(需搭配 UV-SN/UV-SD 系列受光探頭使用)
測量項目:紫外輻照度、累積紫外光量
可選探頭波段:UV25 深紫外波段、UV35 標準光刻波段、UV42 長波固化波段
量程范圍:照度 0.001~50mW/cm2;光量 0.001~19999mJ/cm2
信號輸出:RS232 數(shù)字通訊、模擬電壓輸出,適配電腦與記錄設備
運行功能:自動量程、光量一鍵清零、數(shù)據(jù)保持、自動關機
供電形式:五號干電池便攜使用,可選外接電源長期連續(xù)監(jiān)測
結構形式:主機與探頭分體式,搭配不同長度信號線纜靈活布設
使用環(huán)境:0~60℃,濕度穩(wěn)定無大量凝露,無塵曝光車間、光學研發(fā)質檢工位
模塊化可替換探頭,一套主機覆蓋多條產線不同波段光源檢測,降低儀器采購成本。
實時照度與累積能量同步顯示,一次測量同時獲取兩項關鍵制程管控指標。
分體式傳感布局,細長線纜搭配小型探頭,消除曝光機內部空間狹小帶來的測量盲區(qū)。
測量精度穩(wěn)定,復測一致性優(yōu)良,適合建立光源點檢標準,追蹤燈管長期衰減趨勢。
雙路信號輸出方案,既可現(xiàn)場人工讀數(shù),也能接入外部設備實現(xiàn)長時間連續(xù)記錄。
自動量程智能切換,無需人工調整檔位,高低照度工況均可順暢測量。
整機體積小巧重量輕便,操作人員手持巡回點檢不易疲勞,適配多臺曝光機集中普查。
探頭光學結構匹配傳統(tǒng)汞燈光譜特性,貼合 PCB、半導體行業(yè)成熟曝光工藝檢測標準。
簡易操作邏輯,基礎培訓后工作人員可獨立完成取樣、讀數(shù)、數(shù)據(jù)記錄整套流程。
完整光電制程質控臺賬留存,紫外光源巡檢記錄可回溯,曝光工藝驗證、燈管更換評估項目驗收可直接調取管控記錄。
PCB 制造行業(yè):內外層線路曝光、阻焊油墨固化汞燈照度與能量定期點檢。
半導體工位:晶圓光刻設備光源監(jiān)測,管控曝光能量波動,保障圖形轉移精度。
液晶光學領域:基板清洗、光刻制程紫外光源狀態(tài)評估。
印刷行業(yè):UV 油墨、光油固化生產線紫外輻照參數(shù)校驗。
光學材料實驗室:感光材料、薄膜樣品紫外曝光條件試驗。
電子制造廠品控與設備工程部門,汞燈曝光制程配套紫外能量檢測設備。
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