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津越工業(yè)設(shè)備(武漢)有限公司


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日本NAPSON 便攜式非接觸電阻率測試儀

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參  考  價(jià):￥500 - ￥8000 /件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)

    EC-80P

  • 品牌

    Musashi武藏

  • 廠商性質(zhì)

    代理商

  • 所在地

    武漢市

聯(lián)系方式：李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-07-27 10:40:27瀏覽次數(shù)：96次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：200條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：李經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進(jìn)口 加工定制 否

日本NAPSON 便攜式非接觸電阻率測試儀
本設(shè)備為日本 NAPSON 納普松 EC-80P 便攜式渦流法電阻測試儀，依托電磁感應(yīng)渦流原理實(shí)現(xiàn)非接觸無損測量，無需探針觸碰樣品表面，不會(huì)產(chǎn)生劃痕、針孔損傷，適宜昂貴晶圓、柔性導(dǎo)電薄膜試樣檢測。機(jī)型配備分離式手持測量探頭，探頭接觸樣品即可自動(dòng)觸發(fā)測量；內(nèi)置三種測量模式，可分別測定晶圓電阻率、體電阻率與方塊電阻。

詳細(xì)介紹

日本NAPSON 便攜式非接觸電阻率測試儀

基礎(chǔ)核心參數(shù)

  1. 工作原理：交變磁場在導(dǎo)電樣品內(nèi)部感應(yīng)渦流，拾取渦流反饋信號(hào)運(yùn)算換算方塊電阻與電阻率；設(shè)備存儲(chǔ)測量方案，導(dǎo)出記錄用于新材料工藝復(fù)盤。

  2. 型號(hào)：EC-80P（便攜式渦流非接觸電阻測量裝置）

  3. 測量方式：非接觸渦流感應(yīng)，無物理探針接觸試樣

  4. 運(yùn)行模式：晶圓電阻率、體電阻率、方塊電阻三種模式切換

  5. 觸發(fā)方式：探頭貼合樣品自動(dòng)啟動(dòng)測量

  6. 探頭配置：主機(jī)可同時(shí)連接兩支測量探頭，五檔量程探頭可選配互換

  7. 樣品條件：樣品表面保持平整，不受整體尺寸與外形限制

  8. 操控方式：JOG 旋轉(zhuǎn)旋鈕快速設(shè)置膜厚、補(bǔ)償?shù)葴y試條件

  9. 機(jī)體構(gòu)造：臺(tái)式一體化機(jī)身搭配手提支架，便于移動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)

  10. 使用環(huán)境：恒溫實(shí)驗(yàn)室區(qū)間，濕度無凝露，半導(dǎo)體、光伏、顯示材料研發(fā)與產(chǎn)線質(zhì)檢工位

日本NAPSON 便攜式非接觸電阻率測試儀

核心功能特點(diǎn)

  1. 非接觸測量，杜絕傳統(tǒng)四探針扎針造成的樣品表面破壞，同一片樣品可多點(diǎn)反復(fù)取樣評估均勻性。

  2. 分離式手持探頭設(shè)計(jì)，可靈活移動(dòng)定位，大板、卷材、異形工件邊緣區(qū)域均可定點(diǎn)抽檢。

  3. 自動(dòng)感應(yīng)觸發(fā)測量，探頭輕貼樣品立即讀數(shù)，簡化操作流程，適合大批量來料快速篩查。

  4. 模塊化多量程探頭體系，區(qū)分低阻、中阻、高阻、超高阻、光伏硅片專用探頭，不同導(dǎo)電材料均可保障測量精度。

  5. 三種測量模式自由切換，兼顧塊狀半導(dǎo)體基體與薄層導(dǎo)電薄膜兩類試樣檢測需求。

  6. 旋轉(zhuǎn)旋鈕簡易操控，可錄入樣品厚度參數(shù)，支持方塊電阻與電阻率互相換算。

  7. 整機(jī)輕便易搬運(yùn)，既可放置實(shí)驗(yàn)臺(tái)開展研發(fā)測試，也可直接運(yùn)至產(chǎn)線、倉庫執(zhí)行來料巡檢。

  8. 適配豐富材料品類，硅晶圓、SiC、GaN 外延片、ITO 膜、碳基導(dǎo)電材料、金屬薄膜均可測試。

  9. 無耗材消耗，日常僅需保持探頭端面潔凈，長期運(yùn)維成本更低。

  10. 完整新材料質(zhì)控臺(tái)賬留存，電阻測點(diǎn)記錄可回溯，薄膜沉積工藝優(yōu)化、晶圓來料檢驗(yàn)、成品一致性驗(yàn)收項(xiàng)目可直接調(diào)取管控記錄。

適用場景

  1. 半導(dǎo)體行業(yè)：單 / 多晶硅片、離子注入硅片、GaAs、GaN、SiC 各類外延晶片電阻率檢測。

  2. 光伏新能源工位：光伏硅基基材導(dǎo)電特性篩查，評估摻雜工藝均勻性。

  3. 顯示光學(xué)領(lǐng)域：ITO、TCO 透明導(dǎo)電玻璃薄層電阻檢測。

  4. 新材料研發(fā)：石墨烯、碳納米管、銀納米線復(fù)合導(dǎo)電薄膜電學(xué)性能表征。

  5. 第三方材料檢測機(jī)構(gòu)：各類導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體樣品無損電學(xué)委托測試。

  6. 高校科研平臺(tái)：二維材料、導(dǎo)電高分子、寬禁帶半導(dǎo)體課題樣品理化表征。

  7. 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室與新材料產(chǎn)線質(zhì)檢班組，配套無損便攜式薄層電阻檢測設(shè)備。

關(guān)鍵詞：實(shí)驗(yàn)臺(tái)

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