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FRT薄膜厚度測量儀

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更新時(shí)間：2026-03-09 09:38:27瀏覽次數(shù)：121次

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北京德華振峽科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：58條

所在地區(qū)：北京

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產(chǎn)品簡介

FRT薄膜厚度測量儀采用膜層厚度測量傳感器，非接觸測量表面膜層，測量范圍從10nm--250um，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片、光學(xué)鍍膜加工、漆膜、氧化表面層測量。

詳細(xì)介紹

FRT薄膜厚度測量儀

薄膜層厚測量傳感器 FTR

薄膜層厚測量傳感器FTR為專用的膜層測量儀器，通過于MicroProf型MicroGlider 型結(jié)合使用，可應(yīng)用于各種高精度的測量場合，其層厚分辨率可達(dá)1nm；非接觸無損測量更拓寬了其應(yīng)用場合；如光學(xué)鍍膜加工（膜層厚度、消光系數(shù)等參數(shù)）；半導(dǎo)體硅片表面膜層分析；氧化表面微細(xì)分析、漆膜等等

薄膜層厚測量傳感器FTR技術(shù)參數(shù)：

測量原理	反射測量（非接觸）
光源	鹵素?zé)?/span>			氚-鹵素?zé)?/span>
波長范圍	400—850nm	650—1100nm	400—1100nm	250nm—850nm	250—1100nm
層厚測量范圍	50nm-20um	70nm-70um	50nm-100um*	10nm-20um	10nm-70um
層厚分辨率	1 nm
X,Y軸分辨率	0.1um