北京北方利輝試驗設(shè)備有限公司
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閱讀:151發(fā)布時間:2025-11-23
對于真空度的標識通常有兩種方法:
| 真空泵種類 | 起動壓強(Pa) | |
| 1×105 | 活塞式真空泵 | 1×105~1.3×102 |
| 1×105 | 旋片式真空泵 | 1×105—6.7×10-1 |
| 1×105 | 水環(huán)式真空泵 | 1×105—2.7×103 |
| 1.3×103 | 羅茨真空泵 | 1.3×103—1.3 |
| 1.3—1.3×10-5 | 渦輪分子泵 | 1.3 |
| 1×105 | 水蒸氣噴射泵 | 1×105—1.3×10-1 |
| 1.3×10-7 | 油擴散泵 | 1.3×10-2—1.3×10 |
| <1.3×105 | 油蒸氣噴射泵 | 1.3×10—1.3×10-2 |
| 1×105 | 分子篩吸附泵 | 1×105—1.3×10-1 |
| 6.7×10-1 | 濺射離子泵 | 1.3×10-3—1.3×10-9 |
| 1.3×10-2 | 鈦升華泵 | 1.3×10-2—1.3×10-9 |
| 1.3×10 | 鋯鋁吸氣劑泵 | 1.3×10—1.3×10-11 |
| 1.3—1.3×10-1 | 低溫泵 | 1.3—1.3×10-11 |
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