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產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	是

產(chǎn)品介紹

INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度
支持多六個(gè)來源同時(shí)共沉積
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r
100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
*的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）
6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
可容納多 50 個(gè)過程，每個(gè)過程 200 層，這些過程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。
多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
可選以太網(wǎng)通信
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

類型		IC6
測(cè)量性能
分辨率 (1)		0.00433 Å/s/M
大晶體頻率偏移		1.5 MHz
晶體范圍和精確性（來自 100-ms 樣品）		6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz
厚度精度 (2)		0.5%
測(cè)量頻率		10 Hz
多個(gè)測(cè)量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能
Auto Z		yes
自動(dòng)色調(diào)		yes
共沉積		yes (up to 6 sources)
過程配方和數(shù)據(jù)管理
材料計(jì)劃		32
過程層（每個(gè)過程）		200
過程		50 (processes can be linked together)
USB 存儲(chǔ)器		yes
數(shù)據(jù)記錄		yes
硬件功能
傳感器 (3)
單		8
雙 / CrystalTwo®		4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8