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深圳市綠山科技有限公司


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進口Olympus顯微鏡AL110/MX61

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號AL110/MX61

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:劉軍查看聯(lián)系方式

更新時間:2018-05-15 15:38:10瀏覽次數(shù):1302次

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經營模式:代理商

商鋪產品:22條

所在地區(qū):廣東

聯(lián)系人:劉軍

產品簡介

請咨詢價格,謝謝您的配合!

詳細介紹

【詳細信息】

 

AL110/MX61

 

 

自動晶圓搬送機/200mm,半導體檢查顯微鏡

 

 

 

●用于100mm/125mm/150mm晶圓搬送及檢查(AL110-8)

 

●.用于200mm晶圓搬送機檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能(AL110-8)

 

●非接觸式對中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性

 

●靈活的程式設計,zui短的搬送時間*的提高了生產效率

 

●AL110-12  300mm晶圓自動搬送機臺(NEW)

 

                         型號

 

項目

 

200mm型

 

200/150mm兼容性

 

100/125/150mm兼容性

 

L

 

LM

 

LB

 

MB

 

LMB

 

L

 

LM

 

LB

 

MB

 

LMB

 

L

 

LM

 

LBM

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

晶圓直徑

 

150mm晶圓平邊(Flat),200mm切口(Notch)

 

 

 

 

O

 

 

 

 

O

 

 

 

 

150mm晶圓平邊(Flat)

 

 

 

 

O

 

 

 

 

100mm/125mm/150㎜, 晶圓平邊(Flat)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

O

 

片盒

 

Fluoroware,H-bar型

 

        O

 

片盒數(shù)量

 

1

 

        O

 

觀察方法

 

連續(xù)和采樣

 

 O

 

 

 

 

 

 

 

轉換方式

 

正面宏觀檢測

 

O

 

O

 

O

 

 

 

 

O

 

O

 

O

 

O

 

 

 

 

O

 

O

 

O

 

O

 

背面宏觀檢測

 

 

 

 

O

 

 

 

 

O

 

O

 

 

 

 

O

 

 

 

 

O

 

O

 

 

 

 

O

 

O

 

2次背面檢測

 

 

 

 

 

 

 

O

 

O

 

O

 

 

 

 

 

 

 

O

 

O

 

O

 

 

 

 

 

 

 

O

 

表面顯微觀測

 

 

 

 

 

 

 

O

 

O

 

O

 

 

 

 

 

 

 

O

 

O

 

O

 

 

 

 

 

 

 

O

 

定位平邊(Flat),切口(Notch)校準

 

 

 

 

每90°一次

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

O

 

非接觸對中

 

O

 

 

 

 

轉移晶圓

 

帶真空吸附功能的自動機械臂

 

 

 

 

O

 

可使用顯微鏡*2

 

 

 

 

MX61/MX61L型

 

O

 

規(guī)格(mm)

 

580(W)×580(D) ×297(H)

 

490(W)×520(D) ×297(H)

 

重量(kg)

 

30

 

32

 

31

 

31

 

33

 

30

 

32

 

31

 

31

 

33

 

26

 

28

 

30

 

能耗

 

電源;: AC100- 120V0.90A, 或AC200-240V0.55A 50/60Hz, 真空壓力; -67kPa~-80 kPa

 

關鍵詞:顯微鏡

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