深圳市綠山科技有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產品型號AL110/MX61
品 牌
廠商性質代理商
所 在 地深圳市
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更新時間:2018-05-15 15:38:10瀏覽次數(shù):1302次
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AL110/MX61
自動晶圓搬送機/200mm,半導體檢查顯微鏡
●用于100mm/125mm/150mm晶圓搬送及檢查(AL110-8)
●.用于200mm晶圓搬送機檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能(AL110-8)
●非接觸式對中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性
●靈活的程式設計,zui短的搬送時間*的提高了生產效率
●AL110-12 300mm晶圓自動搬送機臺(NEW)
| 型號
項目
| 200mm型
| 200/150mm兼容性
| 100/125/150mm兼容性
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| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LBM
| ||
|
晶圓直徑
| 150mm晶圓平邊(Flat),200mm切口(Notch)
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O
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O
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| 150mm晶圓平邊(Flat)
|
| O
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| |||||||||||
| 100mm/125mm/150㎜, 晶圓平邊(Flat)
|
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O
| |||||||||||
| 片盒
| Fluoroware,H-bar型
| O
| ||||||||||||
| 片盒數(shù)量
| 1
| O
| ||||||||||||
| 觀察方法
| 連續(xù)和采樣
| O
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轉換方式
| 正面宏觀檢測
| O
| O
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| 背面宏觀檢測
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| O
| O
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| O
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| |
| 2次背面檢測
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| O
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| O
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| 表面顯微觀測
|
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| O
| O
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| O
| O
|
|
| O
| |
| 定位平邊(Flat),切口(Notch)校準
|
每90°一次
|
O
| ||||||||||||
| 非接觸對中
| O
| |||||||||||||
|
轉移晶圓
| 帶真空吸附功能的自動機械臂
|
O
| ||||||||||||
| 可使用顯微鏡*2
|
MX61/MX61L型
| O
| ||||||||||||
| 規(guī)格(mm)
| 580(W)×580(D) ×297(H)
| 490(W)×520(D) ×297(H)
| ||||||||||||
| 重量(kg)
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 26
| 28
| 30
| |
| 能耗
| 電源;: AC100- 120V0.90A, 或AC200-240V0.55A 50/60Hz, 真空壓力; -67kPa~-80 kPa
| |||||||||||||
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商 鋪:深圳市綠山科技有限公司 http://m.liuyangwu.com/st19090/
主營產品:美國3M高壓電纜接頭;美國DATA光學玻璃尺;數(shù)控剪板床;數(shù)控折彎機;大功率異步電動機;風力發(fā)電機;德國KROHNE電磁流量計;日本奧林巴斯顯微鏡;日本關西涂料;德國銅箔測厚儀;英國VISION 3D顯微鏡;塑料托盤;日本日立光譜儀;電力電纜;
移動端:深圳市綠山科技有限公司手機站
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