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石英管式微波等離子體裝置

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

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更新時(shí)間：2018-05-15 17:16:42瀏覽次數(shù)：354次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：16條

所在地區(qū)：浙江

聯(lián)系人：方寧妹 （員工）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

石英管式微波等離子體裝置

詳細(xì)介紹

石英管式微波等離子體裝置是我廠專門為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的小型化

產(chǎn)品，可用于薄膜材料的制備和等離子體物理等方面的研究工作，并且特別

適宜于大中專學(xué)校的材料、化學(xué)工程與工藝、物理等專業(yè)的學(xué)生實(shí)驗(yàn)。該裝置利用微波能激勵(lì)稀薄氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體，通過通入不

同的工作氣體，可進(jìn)行功能薄膜材料的制備、化學(xué)合成、表面刻蝕、等離子

體診斷等多方面的實(shí)驗(yàn)。
1 主要配置

   1. 2.45GHz，0~500W微波功率連續(xù)可調(diào)，可滿足不同實(shí)驗(yàn)的要求；
   2. ф50mm的石英管真空室，帶有一個(gè)觀察窗和一個(gè)診斷窗口，保證各

種實(shí)驗(yàn)方便進(jìn)行；
   3. 石英管采用水冷卻，可保證裝置在高功率條件下安全運(yùn)行；
   4. 配置了3路氣體管路，氣體流量控制方便；
     真空測(cè)量系統(tǒng)及控制閥門可保證真空室所需的真空環(huán)境。
2 典型實(shí)驗(yàn)
    1. 等離子體化學(xué)氣相沉積
       A（氣）+B（氣）→ C（固）+D（氣）
   反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子體狀態(tài)， 其活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)生成所需要

的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜

氮化碳薄膜、碳納米材料等。
   2. 等離子體表面刻蝕
    A（氣）+B（固）→ C（氣）
   反應(yīng)氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物

C，可用于集成電路的刻蝕實(shí)驗(yàn)。
   3. 等離子體催化反應(yīng)
   利用等離子體中豐富的活性成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由

基；高反應(yīng)性的中性成分，如活性原子，受激原子態(tài)，從而引發(fā)在常規(guī)化學(xué)

反應(yīng)中不能或很難實(shí)現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。
   4. 等離子體表面改性
    A（氣）+B（固）→ C（固）
   反應(yīng)氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面發(fā)生反應(yīng)生成新的化合物

從而達(dá)到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的?？蓮V泛用于高分子材料、金屬材料及

生物科研材料的表面改性實(shí)驗(yàn)。

關(guān)鍵詞：控制閥

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