上海東茂電子科技有限公司
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產(chǎn)品型號DM-CVD
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
聯(lián)系方式：吳敏敏查看聯(lián)系方式
更新時間：2018-05-15 14:47:08瀏覽次數(shù)：375次
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產(chǎn)品名稱：DM-CVD 石英管式微波等離子體裝置
主要配置：
1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級型）連續(xù)可調(diào)，陽*壓、陽極電流足額顯示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級型）石英管真空室，有一個觀察窗和一個診斷窗；
3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻，保證裝置安全運行。
4、配有真空測量及控制閥門系統(tǒng)；3路工作氣體流量控制；
（二）典型實驗：
1、等離子體化學(xué)氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子狀態(tài)，其活性基團發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。
2、等離子體表面刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實驗。
3、等離子體催化反應(yīng)。等離子體中具有豐富的活性成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由基，高反應(yīng)性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài)，從而可以引發(fā)在常規(guī)化學(xué)中不能或很難實現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。
4、等離子體表面改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，與固體B表面發(fā)生反應(yīng)，生成新的化合物，從而達到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物科研材料的表面改性。
（三）產(chǎn)品特色：
1、 微波系統(tǒng)設(shè)計嚴謹，加工精良，運行時微波準零泄漏，確保使用者人身安全；
2、 微波功率充足，等離子效應(yīng)強勁，作用效果良好；陽極電壓電流足額顯示。
3、 樣品臺升降架精巧豪華，方便調(diào)諧和樣品取放；
4、 樣品臺可加熱或冷卻，有利于控制反應(yīng)過程。
5、制冷循環(huán)水系統(tǒng)踐行環(huán)保理念，避免用長流水費水擾民。
6、循環(huán)水機可聯(lián)機使用、可獨立使用，提高了投資效益；
7、缺水時啟動高壓或正常工作時斷水，系統(tǒng)會斷電并報警；
8、真空泵排氣口接有油霧過濾器，保護環(huán)境；
9、電控系統(tǒng)功能*、操作靈便、指示醒目；
10、整機造型典雅大氣。
地址：上海市楊浦區(qū)龍江路225號409室
：吳敏敏
/
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:amyshine1999@live.cn
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